한화, 7월 한미반도체에 TC본더 복수 모듈 문제 삼아
한미, 입장문 내고 "업계 최초로 장비 상용화한 기업"한미반도체가 지난해 12월 한화세미텍을 상대로 소송을 제기한 데 이어, 이번엔 한화세미텍이 맞소송에 나섰다. 한미반도체는 이에 "적반하장"이라며 강경한 입장문을 냈다.

28일 한화세미텍에 따르면, 한화세미텍은 지난 7월 서울중앙지법에 한미반도체를 상대로 TC본더의 복수의 모듈에 대해 특허침해소송을 제기했다. TC본더는 고대역폭메모리(HBM) 후공정 핵심장비로, 적층된 D램 다이를 정밀 접합하는 설비다.

한화세미텍의 TC본더 'SFM5-Expert' [사진=한화세미텍]

이번에 한화세미텍이 핵심 쟁점으로 삼은 건 한미반도체의 HBM3E용 TC본더에 탑재된 주력 부품이다.

한화세미텍은 "이번 소송은 반도체 장비의 핵심 기술 보호와 기술 탈취 및 도용 등 불법 행위에 대해 강력한 대응 차원에서 진행한 소송"이라며 "주력 부품으로 이익을 얻는 것을 사전에 막기 위해서라도 특허소송을 제기했다"고 말했다.

한미반도체는 한화세미텍이 제기한 특허침해 소송에 대해 반박 입장문을 냈다. 한미반도체는 TC본더 시장 글로벌 1위 기업으로, 업계 최초로 관련 장비를 상용화한 기업이라고 반박했다.

한미반도체 CI [사진=한미반도체]

한미반도체는 "당사는 독자적인 원천기술과 최장 업력을 보유하고 있다"며 "법적 절차를 통해 정당한 권리를 보호하고, 앞으로도 기술 혁신과 고객 신뢰를 최우선으로 하겠다"고 전했다.

또 "이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장(賊反荷杖) 소송"이라며 "당사가 한화세미텍의 기술 침해에 대해 정당한 법적 대응을 하자, 이에 맞서 역고소를 제기한 것은 후안무치한 행동"이라고 말했다.

한화세미텍과 한미반도체는 지난해 말부터 특허 분쟁을 빚고 있다.

한미반도체가 지난해 12월 한화세미텍을 상대로 HBM용 TC본더 관련 특허침해금지 및 손해배상 소송을 서울중앙지법에 제기했다. 핵심은 2모듈과 4헤드 구조 등 TC 본더 설계 특허 침해 건이다.

또 SK하이닉스의 TC본더 벤더 다변화 움직임에 따라 한화세미텍은 한미반도체에 '허위정보 유포 중단' 내용증명을 발송하기도 했다.

한화세미텍은 지난 5월 한미반도체에 특허 2건 무효심판을 특허심판원(IPTAB)에 청구했다.

이후 지난 5~8월 한화세미텍과 한미반도체 간 1심 소송이 진행 중이라는 보도가 이어지면서 SK하이닉스와의 공급 계약 이슈가 부각됐다.

한화세미텍이 이번에 역으로 한미반도체를 상대로 특허침해 소송을 제기한 상태다.