한미반도체로부터 특허침해 소송을 당한 한화세미텍이 역으로 한미반도체를 상대로 특허침해 소송을 제기하면서 고대역폭메모리(HBM)용 장비인 TC본더의 핵심 기술을 놓고 법적 공방을 이어가고 있다.

28일 업계에 따르면 한화세미텍은 최근 한미반도체를 상대로 특허 침해 소송을 제기했다.

한화세미텍이 소송을 제기한 특허는 TC본더 장비와 관련된 것으로, TC본더는 열·압착을 통해 칩과 웨이퍼를 붙이는 반도체 후공정 장비다. TC본더는 특히 여러개의 칩을 쌓는 HBM 제조에 필수적이다.

이번 소송은 앞서 한미반도체가 한화세미텍을 상대로 제기한 특허소송의 후속조치로 이뤄졌다. 앞서 한미반도체는 지난해 12월 한화세미텍을 상대로 소송을 제기한 바 있다.

양사는 SK하이닉스 등 반도체 기업에 TC본더 제품을 나란히 공급하고 있다.

앞서 지난 5월 한미반도체는 428억원 규모, 한화세미텍은 385억원 규모의 HBM용 TC 본더 장비를 SK하이닉스에 공급하는 계약을 체결했다.

이번 소송 결과에 따라 향후 반도체 기업향 제품 공급물량 등에도 영향을 미칠 것으로 풀이된다.

한미반도체는 HBM 생산용 TC 본더 글로벌 점유율 1위 기업이다. 회사측의 설명에 따르면 HBM3E 12단 생산용 TC 본더 시장에서 한미반도체의 점유율은 90% 이상으로 알려졌는데, 최근에는 HBM4 생산 전용 장비 ‘TC 본더 4’도 출시하면서 입지를 굳히고 있다.

하지만 이번 특허 침해 소송 결과에 따라 한미반도체의 독보적인 1위 자리가 흔들릴 가능성도 점쳐진다.

이와 관련해 한미반도체 관계자는 “이번 소송은 사실에 근거하지 않은 적반하장 소송”이라며 “당사가 한화세미텍의 기술 침해에 대해 정당한 법적 대응을 하자, 이에 맞서 역고소를 제기한 것은 후안무치한 행동”이라고 밝혔다.

한화세미텍 관계자는 “이번 소송은 반도체 장비의 핵심 기술 보호와 기술 탈취 및 도용 등 불법 행위에 대한 강력한 대응 차원으로 진행한 소송”이라고 말했다.

한화세미텍(왼쪽)과 한미반도체(오른쪽) CI. 각 사 제공